Comprehensive Solutions for Material Analysis

Characterise. Understand. Solve.

Advanced materials analysis solutions for your most challenging applications.

Oxford Instruments는 소재를 다양한 관점에서 더 깊이 이해할 수 있도록 상호보완적인 특성 분석 기술을 제공합니다. 현지 팀에 문의하여 연구 요구사항을 상담하고, 연구를 가속화할 수 있는 적합한 솔루션을 확인해 보세요.

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EDS Detectors for SEM/TEM and FIB

고처리량이 요구되는 일반적인 EDS 미세분석부터 성능이 중요한 첨단 NanoAnalysis까지 다양한 솔루션을 제공합니다. Ultim Max Infinity SDD 검출기를 기반으로 EDS의 무한한 가능성을 실현하며, 세계 최대 170 mm² 면적의 SDD와 모든 센서 크기에서 46 eV 이하로 보장되는 탄소 분해능을 제공합니다.

  • 빠른 데이터 수집으로 실시간 EDS 분석에 필요한 신뢰성 높은 결과를 제공합니다.
  • Gunshot Residue, Mineral Liberation, ThinFilm 분석 등을 위한 턴키 솔루션을 제공합니다.
  • Live Chemical Imaging은 혁신적인 AZtecLive Chemical Imaging의 다음 단계입니다.

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Ultim Max ∞ (Infinity) SDD 검출기는 SEM에서 소재를 특성 분석할 수 있도록 EDS의 무한한 가능성을 실현합니다. 탁월한 정확도, 감도 및 속도를 결합하여 AZtecLive 소프트웨어를 구동하고 더욱 복잡한 분석 과제를 해결합니다.

Why Infinity

  • 40–170 mm² 센서 크기에서 최고의 감도를 보장하며 동일한 분석 성능을 제공합니다.
  • 최대 50,000 cps에서 CKα 46 eV 이하의 분해능을 보장합니다.
  • 최대 200,000 cps에서 MnKα 127 eV 이하의 분해능을 보장합니다.
  • Tru-Q IQ 스펙트럼 처리: 각 검출기를 제조 중 SEM에서 개별 특성 분석하고 정확한 데이터 처리를 위해 최적화합니다.
  • Infinity 펄스 처리와 pile-up 보정으로 원소를 식별하고 아티팩트 없는 원소 분포를 표시합니다.
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Xplore는 SEM에서 일반적인 미세분석을 위해 설계된 고처리량의 컴팩트 EDS 검출기입니다. Ultim Max Infinity 대면적 검출기의 품질과 정확도를 더 작은 크기로 제공하며, 비용과 복잡성을 줄이면서도 정확도·신뢰성·품질은 유지합니다.

주요 특징

  • 센서 크기: 15, 30, 65 mm²
  • 속도: >1,000,000 cps에서 매핑 가능
  • 보장 분해능: 모든 센서 크기에서 100 Kcps의 Mn Kα <129 eV
  • 정량 분석: >100 Kcps
  • 검출 범위: 30/65 mm²는 Be–Cf, 15 mm²는 B–Cf

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Ultim Max Infinity로 구동되는 AZtecLive는 EDS의 무한한 가능성을 실현하는 소프트웨어입니다. 실시간 화학 이미징, 정성·정량 분석, X선 매핑 및 라인 스캐닝을 위한 워크플로를 제공합니다.

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Oxford Instruments의 Infinity 검출기로 무엇이 가능한지 알아보세요.

  • Infinity EDS 검출기의 새로운 점과 차이점
  • Tru-Q IQ의 개별 검출기 최적화 스펙트럼 처리와 정확도·감도 향상
  • 더 작고 복잡한 나노구조의 특성 분석
  • 더 빠르고 정확한 EDS 매핑과 일부 애플리케이션에서 WDS에 필적하는 감도

CMOS EBSD Detectors 

최고의 범용 EBSD 검출기와 뛰어난 분석 소프트웨어의 결합

CMOS 검출기 제품군인 Symmetry S3, C-Nano+, C-Swift+는 모든 EBSD 분석에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 독특한 렌즈리스 광섬유 설계로 높은 감도와 빠른 분석 속도를 결합해 모든 시료에서 최적의 데이터 품질을 제공합니다.

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Symmetry S3는 시장에서 유일한 진정한 올인원 EBSD 검출기로, 세계 최초로 첨단 CMOS 기술을 적용한 EBSD 검출기인 Symmetry를 기반으로 합니다.

  • 156 × 128 픽셀 패턴에서 >5,700 pps 인덱싱 속도 보장
  • 1244 × 1024 픽셀 해상도 – HR EBSD에 이상적
  • 고유 광섬유 결합 및 sub-pixel 왜곡
  • 모든 분석에 유리한 초고감도
  • 소프트웨어 제어 검출기 틸팅
  • 최고 감도 >1,000 pps/nA
  • 0.05° 미만의 각도 정밀도를 보장하는 sub-pixel 왜곡
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C+ 시리즈 EBSD 검출기인 C-Nano+와 C-Swift+는 모든 EBSD 애플리케이션을 위한 2세대 엔트리급 검출기입니다.

C-Nano+ 는 311 × 256 픽셀 패턴에서 600 pps를 초과하는 수집 속도를 제공합니다. 최소 4배 많은 픽셀을 사용하는 동급 CCD 기반 검출기보다 약 5–6배 빠릅니다.

  • 1244 × 1024 픽셀 전체 해상도 패턴 – 고해상도 EBSD에 이상적
  • 수집 속도 >600 pps
  • 저에너지 및 저전류 분석을 위한 고감도 광섬유
  • 왜곡 없는 이미지
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    C-Swift+ 는 맞춤형 CMOS 센서와 광섬유를 결합해 속도와 감도를 제공하며, 가장 까다로운 소재에서도 고품질 결과를 보장합니다.

    • 보장 인덱싱 속도 >2,000 pps
    • 250 pps에서 622 × 512 픽셀 EBSP
    • 저에너지 및 저전류 분석을 위한 고감도 광섬유
    • 왜곡 없는 이미지
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    AZtecHKL은 사용하기 쉽고 일관되게 높은 품질의 결과를 제공하도록 설계된 유연하고 직관적인 EBSD 데이터 수집 소프트웨어 플랫폼입니다. 전용 내비게이터를 기반으로 EDS와 완전히 통합되어 모든 유형의 EBSD 및 TKD 데이터 수집을 일상적인 작업으로 만들어 줍니다.

    • Tailored Workflow: Oxford Instruments의 EBSD 전문 지식으로 반복 측정에 맞게 시스템 구성을 최적화
    • EBSD Shadow Masking: 거칠거나 복잡한 시료 형상의 그림자 영향을 감소
    • Batch Export: 측정 후 데이터 처리 및 분석·보관·보고 워크플로로의 전송 간소화
    • HTML Project Report: 측정 설정, 수집 및 분석을 일관되게 기록
    • Tru-I Indexing Engine: 최상의 패턴을 정확하고 안정적으로 자동 인덱싱
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    AZtecCrystal은 현대적인 인터페이스와 다양한 고급 기능을 결합한 미래 지향적 EBSD 데이터 처리 소프트웨어입니다. 전위 분석, parent grain reconstruction 등의 도구와 MapSweeper를 통한 pattern matching 기반 고급 데이터셋 재분석을 제공합니다.

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    Unity BEX Imaging Detector

    Unity는 후방산란 전자와 X선 센서를 하나의 패키지에 통합하고 pole piece 바로 아래에 배치해 신호 수집을 극대화하면서 연마되지 않은 시료의 그림자 효과를 줄입니다. 최신 EDS 기술, 초고속 전자장치 및 고급 스펙트럼 처리 알고리즘을 적용한 Unity BEX/EDS 시스템은 SEM 원소 분석의 새로운 기준을 제시합니다. 기존 시스템보다 최대 100배 빠른 속도와 향상된 감도로 민감한 시료, 거친 표면 및 미량 원소(>0.1 wt%)를 표준 SEM 조건에서 분석할 수 있습니다.

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    BEX는 SEM을 위한 혁신적인 분석 기술입니다. 후방산란 전자와 X선(BEX) 이미징을 하나의 기술로 동시에 결합해 두 기술의 장점을 통합하고 발견까지 걸리는 시간을 단축합니다.

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    BEX coloured electron image
    Backscattered electron image

    BEX 기술이 SEM 활용 방식을 어떻게 변화시키는가

    BEX 이미징 기술과 Unity 검출기가 다양한 시료에서 주사전자현미경 분석을 어떻게 혁신하는지 알아보세요.

    다음 내용을 배우게 됩니다:

    • BEX 기술 및 Unity 검출기 기본 원리
    • 배터리, 지질학, 합금 및 전자 분야의 실제 문제 해결 사례
    • 가변 압력 모드 및 고배율 등 극한 조건에서의 BEX 활용

    Confocal Raman Imaging Microscopes

    Oxford Instruments의 공초점 Raman 이미징 현미경은 업계 선도 수준의 속도, 감도 및 분해능을 동시에 제공하는 첨단 화학 특성 분석 솔루션입니다. witec360은 다양한 예산, 환경 및 시료 유형에 맞게 구성할 수 있으며, 모듈형 하드웨어·소프트웨어로 연구 요구사항에 맞게 재구성할 수 있습니다. UV부터 VIS, NIR까지 다양한 여기 파장을 지원하고 광섬유 기반 빔 전달로 유연한 실험실 구성을 제공합니다.

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    witec360은 공초점 Raman 이미징에서 최고 수준의 성능을 제공합니다. 모든 구성 요소를 최대 투과 효율과 일관성을 위해 최적화하여 수 초 내 정확한 결과를 얻고 이미징 워크플로를 가속화합니다.

    Why witec360

    • 고성능 연구용 Raman 이미징 시스템
    • PL, AFM, SHG, TCSPC, 프로필로메트리 및 SEM과의 상관 분석
    • 모듈형·맞춤형·미래 지향적 구성
    • UV 여기부터 NIR까지의 광대역 스펙트럼과 높은 분해능
    • 다양한 자동화 옵션과 직관적인 다중 사용자 접근
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    세계 최초의 통합형 Raman 이미징 및 주사전자현미경

    RISE Microscopy는 SEM과 공초점 Raman 이미징을 결합한 새로운 상관 현미경 기술입니다. 초구조적 표면 특성을 분자 화합물 정보와 연결할 수 있습니다.

    • Raman과 SEM 측정 간 빠른 전환
    • 측정 위치 간 자동 시료 이동
    • 사용자 친화적 통합 소프트웨어 인터페이스
    • 측정 결과 상관 분석 및 이미지 오버레이
    • 균일한 SEM 및 Raman 이미징 성능
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    alphaCART는 시료가 있는 곳으로 실험실을 이동해야 하는 애플리케이션을 위한 Oxford Instruments의 이동형 공초점 Raman 시스템입니다. 높은 공초점성과 신호 감도로 보호 유리와 창을 통한 측정이 가능하며, 반응 챔버 내부의 가스 및 화학 공정을 연구할 수 있습니다. 예술·고고학, 지질학 및 소재과학 연구에 특히 유용합니다.

    장점

    • 현미경에 맞지 않는 대형 시료
    • 실험실로 이동할 수 없는 취약하거나 귀중한 물체
    • 배경 신호가 최소화되는 형광 시료
    • 유리 용기 내부의 가스 및 액체
    • 흑체 복사 배경이 효과적으로 최소화되는 고온 시료
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    Atomic Force Microscopy

    Oxford Instruments Asylum Research AFM은 재료과학, 고분자, 박막, 에너지 연구 및 생물물리학 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다. 

    표면 형상과 거칠기 이미징뿐 아니라 나노전기적·나노기계적·전기기계적 특성 분석을 위한 뛰어난 분해능과 정량 측정 기능을 제공합니다. 

    Cypher, MFP-3D, Jupiter 및 Vero 제품군은 다양한 성능과 활용성, 예산 요구를 충족합니다.

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    QPDI를 사용해 실제 팁 변위를 정밀하게 측정하는 차세대 AFM입니다. Cypher AFM의 안정성과 성능을 기반으로 한 특허 QPDI 기술은 더 높은 정확도, 정밀도 및 반복성을 제공합니다.

    Quadrature Phase Differential Interferometry:

    • 실제 팁 변위 측정
    • 측정 감도 향상
    • 수직 및 면내 힘 간 크로스토크 방지
    • 빛의 파장으로 정밀 보정
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    뛰어난 분해능, 속도, 사용 편의성 및 유연성을 갖춘 대형 시료용 AFM – 최대 직경 210 mm 시료 지원

    • 사전 장착 프로브: 핀셋 대신 손가락으로 다룰 수 있습니다.
    • 가이드 워크플로: 소프트웨어가 설정과 모든 단계를 안내해 복잡성과 손상 위험을 줄입니다.
    • 측면 카메라: 프로브와 시료 사이의 거리를 쉽게 확인할 수 있습니다.
    • AutoPilot을 사용한 FFM-Topography: 스캔 영역을 선택하고 Start를 클릭하면 알고리즘이 스캔 파라미터를 자동 최적화합니다.
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    탁월한 분해능, 속도 및 활용성을 위해 설계된 검증된 AFM

    Cypher 제품군은 초안정·저노이즈 플랫폼을 기반으로 업계 최고 수준의 AFM 성능을 제공하며, 재료과학과 생명과학에서 빠른 고해상도 이미징과 폭넓은 연구 활용성을 지원합니다.

    • 2D 소재 연구의 골드 스탠더드
    • 다른 AFM보다 지속적으로 높은 분해능
    • 수 분이 아닌 수 초 내 결과를 얻는 빠른 스캔
    • 전동식 레이저 및 포토다이오드 위치 조정으로 설정 간소화
    • 작은 설치 면적과 높은 기능 확장성
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    Nanoindentation

    Accuracy, Speed, Operando Testing

    현재 Oxford Instruments의 일원이 된 FemtoTools는 초정밀 기계적 테스트 솔루션 분야의 선도적 위치를 이어가고 있습니다. 스위스 엔지니어링을 기반으로 연구자, 엔지니어 및 제조업체가 가장 작은 힘까지 높은 정확도로 측정할 수 있도록 지원합니다. 글로벌 과학기기 선도기업의 일원으로 혁신 기술을 더 많은 시장에 제공하고 마이크로·나노기계적 테스트의 미래를 앞당깁니다.

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    오퍼란도 조건에서의 초고속 나노인덴테이션

    iX05는 독립형 MEMS 기반 나노인덴터로, 고온·저온 및 높은 변형률 속도 등 다양한 오퍼란도 조건에서 소재 물성 분석을 위해 최적화되었습니다.

    Why iX05?

    Operando Nanoindentation

    • 능동 팁 가열로 최대 +800°C 등온 고온 나노인덴테이션
    • 최저 -150°C의 극저온 나노인덴테이션

    Ultra-Fast Nanoindentation

    • 초당 최대 30회 인덴테이션
    • 최대 100 kHz 공진 MEMS 힘 센서와 2 MHz 샘플링, 500 kHz 피드백의 초고속 전자장치

    Ultra-High Resolution 

    뛰어난 반복성을 갖춘 초고해상도 나노인덴테이션으로 경도와 탄성률의 가장 작은 변화까지 검출합니다.

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    SEM을 이용한 시험 시료의 고해상도 이미징을 동시에 수행하면서 마이크로·나노스케일 시료의 압축, 인장 및 파괴 시험을 수행하는 인시투 FIB/SEM 나노인덴터

    Why NMT04?

    • MEMS 기반 힘 센서: 최대 100 kHz 동적 범위와 최저 500 pN 노이즈 플로어
    • 실제 변위 제어: 일정한 인덴테이션 깊이에서 기계적 물성 측정 및 비교
    • 개방형 측정 프레임: SEM 내부의 EBSD 또는 STEM 검출기와 함께 사용하며 시험 중 미세구조 변화를 동시에 관찰·분석
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    공기, 액체 또는 불활성 가스 환경에서 소재의 국부 기계적 물성을 고해상도·고속으로 측정하는 독립형 나노인덴터

    Why iO4?

    • MEMS 힘 센서: 최대 100 kHz 동적 범위, 최저 500 pN 노이즈 플로어
    • <50 pm의 노이즈 플로어로 매우 얕은 깊이에서도 정밀 측정 가능; 석영 유리에서 5 nm까지 반복 가능한 인덴테이션 곡선
    • 일정한 깊이에서 기계적 물성을 비교하기 위한 변위 제어 나노인덴테이션
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