对材料微观组织进行表征,能关联材料加工过程和制备性能,对材料研发至关重要。在微观表征中,首当其冲的是要确定材料的化学成分或物相。一般情况下,EBSD根据晶体学差异即可有效区分不同物相,但总有结构相似物相难于区分。结合EDS的化学成分和EBSD的晶体学数据,能提供更强大的能力,可以用来对样品中未知物相进行鉴定,关联分析微观组织的成分和晶体结构,更有效地区分结构相似的物相。
EBSD结合EDS关联分析样品,是非常有效且无太多额外成本的分析方式,对材料微观组织的分析和研究至关重要。结合EDS的化学成分和EBSD的晶体学数据,能鉴定未知物相,关联分析微观组织的成分和晶体结构,有效区分结构相似的物相。
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