EBSD和EDS关联分析

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EBSD和EDS关联分析

对材料微观组织进行表征，能关联材料加工过程和制备性能，对材料研发至关重要。在微观表征中，首当其冲的是要确定材料的化学成分或物相。一般情况下，EBSD根据晶体学差异即可有效区分不同物相，但总有结构相似物相难于区分。结合EDS的化学成分和EBSD的晶体学数据，能提供更强大的能力，可以用来对样品中未知物相进行鉴定，关联分析微观组织的成分和晶体结构，更有效地区分结构相似的物相。

EBSD结合EDS关联分析样品，是非常有效且无太多额外成本的分析方式，对材料微观组织的分析和研究至关重要。结合EDS的化学成分和EBSD的晶体学数据，能鉴定未知物相，关联分析微观组织的成分和晶体结构，有效区分结构相似的物相。

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