EBSD를 잘 찍기위한 분석팁

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EBSD를 잘 찍기위한 분석팁

EBSD 분석은 결정질 소재의 미세구조와 집합조직 해석에 필수적인 기술이다. 2010년대 후반부터 주사전자현미경(SEM)의 분해능 및 전류 밀도 향상, 그리고 기존 CCD 검출기의 한계를 극복한 고성능 CMOS 검출기의 도입으로, 과거 분석이 어려웠던 빔 민감 소재나 수백 나노미터(nm) 스케일의 극미세 구조까지 용이하게 분석할 수 있게 되었다. 또한, EBSD는 TEM 분석 대비 대면적에서 초당 수천 픽셀 이상의 빠른 속도로 데이터를 획득할 수 있어, 통계적 신뢰성을 갖춘 대면적 미세조직 및 집합조직 해석 방법으로 각광받고 있다. 더불어 구조 분석 기법인 EBSD와 조성 분석 기법인 EDS를 유기적으로 결합한 'EDS-EBSD 동시 분석'을 통해, 결정 구조가 유사한 상(Phase)의 명확한 구분이나 미지의 상(Unknown phase) 확인 등 고난도 분석으로도 활용 영역이 확장되는 추세이다.

최근 EBSD 기술은 다양한 산업 전반의 불량 분석 및 품질 관리(QC) 분야까지 저변을 넓히고 있으나, 결정학적 방위(Orientation) 개념에 익숙하지 않은 EBSD 초심자들은 최적의 데이터 확보에 많은 어려움을 겪고 있다. 이에 본 세미나에서는 EBSD 초심자들이 가장 자주 직면하는 의문점을 중심으로, 장비 세팅부터 유효한 데이터 확보를 위한 실무적인 분석 노하우를 소개하고자 한다.

Key topic

• SEM과 EBSD 장비 특성의 상관 관계 이해
• SEM 가속전압 및 빔 전류(probe current)가 EBSD 데이터에 미치는 영향
• 분석 목적에 맞는 배율과 step size의 최적 관계
• 초심자가 EBSD 세팅시 실수하기 쉬운 핵심 체크리스트
• 상 구분(Phase discrimination)의 정밀도 향상: Refined accuracy 모드 사용 및 EDS-EBSD 동시분석
• FSD이미지의 효율적 활용
• 비전도성 소재 분석을 위한 샘플 전도성 확보 방안
• 마이크론 이하의 미세하고 강가공된 미세조직을 잘 분석할 수 있는 방법
• 의사대칭(Pseudosymmetry) 에러 분석 및 보정이 필요한 경우
• 마지막 필살기: Pattern matching indexing 기술을 통한 분석 한계 극복

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