AFMの理解に向けた深層基礎講座「第5回」| 全12回

OI Academy | Webinar
AFMによる電気測定 (1)

原子間力顕微鏡(AFM)は、1990代初期に実用化されて以降、学術研究分野に止まらず、産業分野においても幅広く利用されています。近年では試料表面の段差や粗さ測定の他、複合材料の弾性率評価や電子デバイスの電気物性など、幅広い機能を活かしてその用途が広がり、多くの研究者・技術者の方々に利用されています。

毎月末の金曜日、全12回の本講座は、AFMをご利用になられている・これから使われるご予定の研究者・技術者の方々にお役立ていただける内容を目指し、長年、AFMの装置開発とその応用をご研究されてきた京都大学名誉教授山田啓文先生を講師に迎えて、AFMを始めそこから派生してきた測定機能の原理の理解を深めるとともに最新機能や将来の可能性について学んでいただく内容となっています。

多くの皆様にAFMを深く理解いただけることを願っています。

第5回目のテーマは「AFMによる電気測定 (1)」です。

★ AFM機能物性計測の原理と応用
     ・フォースカーブ測定法、動作モードとの関係
★ 静電気力ベースの表面電位計測の基礎
     ・EFM, KFM/KpFM
★ さまざまな電気計測に基づくAFM技術
    ・AFMP, SCM, SSRM
※ AFMの基礎補足・復習フォースカーブ測定の基礎
   ・フォースカーブ測定法、動作モードとの関係