반도체 소재 및 공정 기술의 복잡도가 날로 증가함에 따라, 나노스케일의 정밀 물성 분석에 대한 수요가 그 어느 때보다 높아지고 있습니다. 특히 2D 소재, GaN, SiC, 등 차세대 반도체 연구에서는 비파괴적이면서도 고분해능 분석 장비의 중요성이 부각되고 있습니다.

이번 워크샵에서는 이러한 산업적 흐름에 부합하는 대형 웨이퍼 샘플 분석에 최적화된 Oxford Instruments의 고성능 AFM 및 Raman 시스템을 중심으로 소개하며, 실제 연구 현장에서의 적용 사례를 통해 최신 분석 기술의 활용 방향을 제시하고자 합니다.

특히, 오랜 기간 SiC 특성화 연구에 매진해오신 나노융합기술원의 이남석 박사와, 그래핀 기반 2D 소재 및 응용 전자소자 개발 전문기업 알파그래핀의 이상경 대표를 모시고, 실질적인 연구 경험과 현장에서 마주한 도전 과제들을 함께 나누는 귀한 시간을 마련하였습니다.

주요 내용

• Jupiter XR AFM: : 대면적 샘플에서도 뛰어난 분해능과 정밀 제어를 제공하는 차세대 원자현미경 솔루션
• alpha300 Raman: : Raman, PL, TERS 등 멀티모달 분석을 통해 2D 소재 및 복합 구조물의 물성을 정밀하게 해석
• 실제 연구자들이 전하는 분석 사례 공유 및 실시간 데모 시연

이번 워크숍은 분석 실무 중심의 인사이트와 최신 장비 기술 동향을 직접 체험할 수 있는 기회가 될 것으로 기대합니다. 반도체 분야에서 소재 개발, 공정 최적화, 결함 분석 등의 업무를 수행하시는 연구자 여러분의 많은 관심과 적극적인 참여를 바랍니다.